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1) 絕緣外殼
一般選用Al2O3陶瓷管殼。Al2O3陶瓷材料具有優(yōu)異電絕緣性能、較高的機械強度、高溫下不易分解與蒸發(fā)等一系列優(yōu)點，即能保證真空滅弧室在生產(chǎn)及運行過程中的氣密性又不易損壞。
2)波紋管
波紋管是真空滅弧室中不可缺少的重要元件。是唯一可動的外殼部分，因此它的作用也稱為“動密封”。既能保證滅弧室的密封，又能借助于它來實現(xiàn)觸頭的相對運動，波紋管的允許伸縮量決定了所能獲得的最大觸頭開距。
波紋管的材料壁厚僅為0.10——0.16mm，開關在每次合分動作時都會使波紋管的波狀薄壁產(chǎn)生一次較大幅度的機械變形。由于劇裂而頻繁的機械變形很容易使波紋管因疲勞而損壞，最終導致滅弧室漏氣而報廢。某種程度上，波紋管的疲勞壽命也就決定了真空滅弧室的機械壽命，所以說，整個壽命期間，一定嚴禁扭傷或劃傷波紋管。
波紋管的疲勞壽命還和工作條件的受熱溫度有關，真空滅弧室在分斷大的短路電流后，導電桿的余熱傳遞到波紋管上，使波紋管的溫度升高，當溫升達到一定程度時，這也會影響波紋管的疲勞強度。
3)觸頭
真空滅弧室是真空開關的心臟，而觸頭則是真空滅弧室的心臟，因此觸頭材料和觸頭結構等對真空滅弧室的性能影響極大。
① 觸頭材料主要從開斷能力、耐受電壓能力、抗電腐蝕性、抗熔焊能力、截流值、含氣量等方面來選擇。目前斷路器用真空滅弧室的觸頭材料大都采用銅鉻合金，銅與鉻各占 50%。
② 觸頭結構對滅孤室的開斷能力有很大影響。采用不同結構觸頭產(chǎn)生的滅弧效果有所不同的，早期采用簡單的圓柱形觸頭，結構雖簡單，但開斷能力不能滿足斷路器的要求，僅能開斷10kA以下電流，目前僅有真空負荷開關、高壓真空接觸器等用真空滅弧室才采用。目前采用較多的有螺旋糟型結構觸頭、帶斜槽杯狀結構觸頭和杯狀縱磁結構觸頭三種，其中以采用杯狀縱磁結構觸頭為主。
4)主屏蔽罩
主屏蔽罩也稱為中間屏蔽罩或冷凝屏蔽罩。設置在觸頭周圍，應該正對著觸頭拉開后的燃弧區(qū)。其主要作用是可以阻擋電弧生成物四周噴濺的作用，有助于電弧熄滅后殘余等離子體的衰減，防止絕緣外殼受污染。因而主屏蔽罩對真空滅弧室的弧后介質(zhì)強度恢復速度和開斷能力的提高起到很大作用。
5)動靜導電桿
般來講，導電系統(tǒng)主要包括動、靜導電桿和導電塊。根據(jù)機構安裝方式不同、靜端導電有的靠靜導電桿，有的靠導電塊。動靜導電桿一端連接觸頭，另一端伸出管外與機構連接從而實現(xiàn)與電路連接。
6)動靜蓋板
通過動靜蓋板與瓷殼進行釬焊，形成密閉的真空腔室。
7)導向套
顧名思義，導向套是對動導電桿的運動起導向作用，盡量保證動作過程中真空滅弧室動靜端的同軸度，從而保證動靜觸頭的接觸面積。另外，導向套還可以與動導電桿做防扭設計，以防在裝配過程中扭傷波紋管。
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